Tra le camere bianche di diverse classi occorre garantire una differenza di pressione compresa tra 5 e 20 Pa, da quella più pura a quella meno pura. La sovrappressione minima nella cleanroom garantisce che, quando viene aperta una porta, l’aria non possa passare dalla zona impura a quella più pura. L’accesso stesso alle zone più pure, sia per il personale che per il materiale, avviene attraverso speciali tornelli che aspirano le particelle presenti con appositi filtri.
Secondo la norma ISO 14644-3, occorre monitorare la differenza di pressione tra la cleanroom e i tornelli, tra eventuali cleanroom di altre classi così come tra le cleanroom e l’ambiente circostante.
Inoltre, occorre misurare la pressione differenziale dei filtri.
|
Pressione differenziale nelle camere bianche
|
Pressione differenziale dei filtri
|