Secondo la norma ISO 14644-3 occorre controllare se l’impianto di trattamento dell’aria che gestisce la cleanroom è in grado di mantenere il livello termo-igrometrico dell’aria (temperatura, umidità e pressione dell’aria. L'umidità è indicata come umidità relativa) all’interno delle soglie prestabilite per l’applicazione.
La temperatura ambiente e l’umidità dell'aria influenzano processi come la dilatazione o l’indurimento di materiali, la crescita di microorganismi così come scomposizione, corrosione e formazione di ruggine e possono così danneggiare il prodotto realizzato all’interno della cleanroom. Di conseguenza assume un’importanza fondamentale una misura precisa della temperatura e dell’umidità relativa.